[发明专利]一种溶胶－凝胶法制备BiFe1‐xCrxO3 铁电薄膜的方法

摘要

本发明提供了一种溶胶－凝胶法制备BiFe1-xCrxO3铁电薄膜的方法，将硝酸铋、硝酸铁和硝酸铬按摩尔比1.05∶1-x∶x溶于乙二醇甲醚、醋酸酐和乙醇胺的混合液中，磁力搅拌后得到金属离子浓度为0.003～0.3mol/L的稳定的BiFe1-xCrxO3前驱液，其中x=0.00～0.03，乙二醇甲醚、醋酸酐和乙醇胺的体积比为14∶5∶1。采用旋涂法在FTO/glass基片上旋涂BiFe1-xCrxO3前驱液制备薄膜，采用层层退火工艺处理，得到晶态BiFe1-xCrxO3薄膜。本发明设备要求简单，实验条件容易达到，制备的薄膜均匀性较好，掺杂量容易控制，通过B位Cr掺杂，提高了BiFeO3薄膜的铁电性能。

主权项

一种溶胶－凝胶法制备BiFe1‑xCrxO3铁电薄膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：将Bi(NO3)3·5H2O、Fe(NO3)3·9H2O和Cr(NO3)3·9H2O按摩尔比1.05∶1‑x∶x溶于乙二醇甲醚、醋酸酐和乙醇胺的混合液中，磁力搅拌后得到金属离子浓度为0.003～0.3mol/L的稳定的BiFe1‑xCrxO3前驱液，其中x=0.00～0.03，乙二醇甲醚、醋酸酐和乙醇胺的体积比为14∶5∶1；步骤2：采用旋涂法在FTO/glass基片上旋涂BiFe1‑xCrxO3前驱液制备薄膜，采用层层退火工艺处理，得到晶态BiFe1‑xCrxO3薄膜。