[发明专利]反应腔室烘烤的实时控制方法及装置有效
| 申请号： | 201210495300.2 | 申请日： | 2012-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN103853055A | 公开（公告）日： | 2014-06-11 |
| 发明（设计）人： | 边国栋 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G05B19/04 | 分类号： | G05B19/04 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 张大威 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提出一种反应腔室烘烤的实时控制方法，用于获得反应腔室的真空环境；包括以下步骤：检测反应腔室的初始压力；开始烘烤加温；实时获取反应腔室的压力，从而得到反应腔室的压力变化趋势；根据反应腔室的压力变化趋势判断反应腔室所处的压力状态；当压力状态达到预定状态时结束烘烤。本发明实施例的反应腔室烘烤的实时控制方法具有Bake Out时间短、效率高的优点，并能够保证反应腔室满足工艺要求的优点。本发明还提出了一种反应腔室烘烤的实时控制装置。 | ||
| 搜索关键词： | 反应 烘烤 实时 控制 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种反应腔室烘烤的实时控制方法，用于获得所述反应腔室的真空环境；其特征在于，包括以下步骤：检测反应腔室的初始压力；开始烘烤加温；实时获取所述反应腔室的压力，从而得到所述反应腔室的压力变化趋势；根据所述反应腔室的压力变化趋势判断所述反应腔室所处的压力状态；当所述压力状态达到预定状态时结束烘烤。
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