[发明专利]微型压电振动能量收集器及其制造方法

摘要

本发明设计一种新型MEMS压电振动能量收集器的结构及其制备方法，其包括双抛衬底；双面衬底保护层；正面金属导电层(底)作为输出底电极；金属上层制备图形化后的导电胶；PZT压电片通过导电胶键合在硅片底电极；整片覆盖顶电极金属导电层(顶)；KOH通过背面衬底保护层窗口腐蚀，释放出不含Si以环氧树脂为主的悬臂梁结构；划片释放出悬臂梁‑质量块结构。本发明结构简单易于实现，便于批量生产，敏感度，输出电平、功率高，适用范围广，安全可靠。

主权项

一种微型压电振动能量收集器的制造方法，包括：在衬底正面上形成第一保护层以及第一金属层；在第一金属层上形成具有窗口的光刻胶层；在第一金属层以及光刻胶层上形成导电胶层；在与窗口对应的位置处的导电胶层上粘贴压电陶瓷片；去除光刻胶层以及未被压电陶瓷片覆盖的导电胶层；在压电陶瓷片以及第一金属层上形成第二金属层；在衬底背面形成与窗口位置对应的开口，直至暴露第一保护层，使得第二金属层、压电陶瓷片、导电胶层、第一金属层以及第一保护层构成悬梁臂，跨越开口两侧的衬底构成的质量块。