[发明专利]一种红外焦平面阵列探测器无效
申请号: | 201210488652.5 | 申请日: | 2012-11-26 |
公开(公告)号: | CN102997999A | 公开(公告)日: | 2013-03-27 |
发明(设计)人: | 熊笔锋;陈文祥;杨秀武 | 申请(专利权)人: | 烟台睿创微纳技术有限公司 |
主分类号: | G01J5/00 | 分类号: | G01J5/00;G01J5/02 |
代理公司: | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人: | 杨立 |
地址: | 264006 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明涉及半导体光电子领域,具体来说是一种红外焦平面阵列探测器。它包括封装壳体、红外光学窗口和缓冲环,这三者形成一个封闭的真空腔,所述缓冲环位于封装壳体和红外光学窗口之间,所述真空腔内设置有电激活吸气剂和红外焦平面探测器芯片,所述封装壳体包括一个底面,红外焦平面探测器芯片安装在底面上,底面侧边设置有焊盘,所述底面的外面设置有金属针脚,所述焊盘与金属针脚电连通,所述电激活吸气剂与金属针脚电连通,所述红外焦平面探测器芯片上设置有金属焊盘,金属焊盘与焊盘通过金丝连接。本发明简化了红外焦平面阵列探测器芯片的封装结构,缩小了红外焦平面探测器的体积,降低红外焦平面阵列探测器封装成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 红外 平面 阵列 探测器 | ||
【主权项】:
一种红外焦平面阵列探测器,它包括封装壳体、红外光学窗口,所述封装壳体与所述红外光学窗口形成一个封闭的真空腔,所述真空腔内设置有电激活吸气剂和红外焦平面探测器芯片,其特征在于,还包括缓冲环,所述缓冲环位于所述封装壳体和所述红外光学窗口之间,用于连接所述封装壳体和所述红外光学窗口,所述封装壳体包括一个底面,所述红外焦平面探测器芯片安装在所述底面朝向所述真空腔的一面上,所述底面朝向所述真空腔的一面的侧边设置有焊盘,所述底面朝向所述真空腔外部的另一面设置有金属针脚,所述焊盘与所述金属针脚电连通,所述电激活吸气剂与所述金属针脚电连通,所述红外焦平面探测器芯片上与所述焊盘相对应的设置有金属焊盘,所述金属焊盘与所述焊盘通过金丝连接,所述红外焦平面探测器芯片的中间部分为像元阵列结构。
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