[发明专利]压缩法回收LED制造中废氨气再利用的方法

摘要

本发明公开了一种压缩法回收LED制造中废氨气再利用的方法，将LED制造过程中排放的废氨气采用隔膜压缩机负压吸入，增压压出，采用冷却水冷凝为液氨，达到回收废氨气的目的；再将冷却回收的液氨经过二道精馏分离除杂，使液氨得到提纯；提纯的液氨能达到7N含量的，继续给LED制造中循环使用。整个过程中无污染，彻底解决了目前在LED制造过程中废氨气排放的污染问题。并且回收投资少，回收、提纯成本远远低于用工业液氨制造LED用超纯氨，大大降低了LED制造成本。

主权项

一种压缩法回收LED制造中废氨气再利用的方法，其特征在于：该方法包括以下几个步骤：（1）废氨气压缩与冷凝回收：由MOCVD炉排出的废氨气进入缓冲罐入口,缓冲罐出气口与隔膜压缩机入口相连通,在‑0.05～‑0.01Mpa的微负压下范围内吸入废氨气，通过压缩机将废氨气压缩增压到1.3～1.6Mpa，增压以后的废氨气经过过滤器，将废氨气中的金属离子过滤掉，再进入冷凝器，经0～40℃的冷却水冷凝为液氨，冷凝的液氨进入液氨接收槽，给下道提纯作原料，液氨主含量＞98%，冷凝器中不凝气体由冷凝器排放口排出，进入尾气中和排放塔，从而完成废氨气的回收任务；（2）回收液氨的初级提纯：将上述含量＞98%的液氨由重力作用输入氨气蒸发器，经20～30℃热水加热汽化为含水量＜100ppb 的氨气，氨气经过二道能去除0.1um颗粒的不锈钢除沫器，将氨气中的颗粒物体挡在氨气蒸发器内，从氨气蒸发器顶排出的纯氨气进入初品精馏提纯塔作为加料，进行精馏提纯，保持精馏提纯塔塔顶、塔釜温度在0～40℃范围内，压力在0.5～1.6Mpa范围内，冷却水温度控制在‑5～30℃范围内，塔顶轻组份的放空与回流量之比在1:30～50范围内，加料量与塔顶放空量之比在1:50～100范围内，在此操作条件下精馏分离，进一步降低了原料中的轻组份、重组份、水份、金属离子的含量，初品精馏提纯塔塔顶冷凝器下方的高位槽中的液氨可达到大于99.9999%的超纯氨初品含量，一部分进入初品精馏提纯塔，一部分进入成品精馏提纯塔，其比例为1：3～5，从而完成回收液氨的初级提纯任务；（3）成品提纯：将上述大于99.9999%的超纯氨初品由成品精馏提纯塔进行精馏提纯，保持精馏提纯塔塔顶、塔釜温度在0～40℃范围内，压力在0.5～1.6Mpa范围内，冷却水温度控制在‑5～30℃范围内，塔顶轻组份的放空与回流量之比在1:30～50范围内，加料量与塔顶放空量之比在1:80～120范围内，在此操作条件下精馏分离，更进一步降低了原料中的轻组份、重组份、水份、金属离子的含量，在精馏塔中上部的产品出口可以生产出含量大于99.99999%的超纯氨成品；成品精馏塔塔顶冷凝器下方的高位槽中的液氨可达到大于99.99999%的超纯氨成品含量，一部分进入成品精馏提纯塔，一部分进入成品接收罐，其比例为1：2～6，从而完成回收液氨的全部提纯任务；（4）成品液氨接收与汽化再利用：由上述提纯的含量大于99.99999%的超纯氨成品经成品高位槽，由重力作用流入成品接收罐，成品接收罐的液氨成品由重力作用流入成品汽化器，汽化器经20～30℃热水加热汽化为成品氨气，成品氨气经减压至0.1～0.2Mpa范围内供给MOCVD炉使用，完成了全部回收、提纯、再利用过程。