[发明专利]工艺腔部品的清洗方法无效
| 申请号： | 201210483235.1 | 申请日： | 2012-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN103831263A | 公开（公告）日： | 2014-06-04 |
| 发明（设计）人： | 刘同玉;严超逸;刘东升 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 刘昌荣 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种工艺腔部品的清洗方法，步骤包括：1）将液态CO2制作成所需规格的干冰颗粒；2）将干冰颗粒用机械方式送入压缩空气管道，与压缩空气混合、加速，然后和压缩空气一起喷射到被清洗部品表面。本发明用干冰高速冲击部品表面，利用干冰气化带来的热力学和材料物理性能的改变，来清除部品表面的刻蚀生成物，达到清洗部品的目的，如此不仅提高了清洗的效率，而且减少了部品表面的磨损，延长了部品的使用寿命，对操作人员和环境也不会有伤害。 | ||
| 搜索关键词： | 工艺 腔部品 清洗 方法 | ||
【主权项】：
工艺腔部品的清洗方法，其特征在于，步骤包括：1）将液态CO2制作成所需规格的干冰颗粒；2）将干冰颗粒用机械方式送入压缩空气管道，与压缩空气混合、加速，然后和压缩空气一起喷射到被清洗部品表面。
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