[发明专利]一种坩埚喷涂烘干装置及其方法在审
| 申请号： | 201210473427.4 | 申请日： | 2012-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN102925970A | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 姜磊;荣丹丹;吕景记;魏文秀;杨志军 | 申请（专利权）人： | 天津英利新能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06;B05D3/14;B05D7/22 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 魏晓波 |
| 地址： | 301510 天津市滨海新区津汉公*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种坩埚喷涂烘干装置，包括旋转喷涂加热器，还包括位于所述旋转喷涂加热器上方的坩埚顶盖，所述坩埚顶盖的中部设有内部加热器；所述坩埚顶盖与所述旋转喷涂加热器可拆卸连接。本发明提供的坩埚喷涂烘干装置在旋转喷涂加热器的上方加装了坩埚顶盖装置，通过安装在坩埚顶盖的内部加热器和旋转喷涂加热器的共同加热，提高升温速率，不仅可以减少喷涂作业前坩埚的加热时间，还可以对坩埚进行烘干作业，减少工序，节省购置坩埚烘箱的成本。此外，本发明还公开了一种坩埚喷涂烘干方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 坩埚 喷涂 烘干 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种坩埚喷涂烘干装置，包括旋转喷涂加热器，其特征在于，还包括位于所述旋转喷涂加热器上方的坩埚顶盖，所述坩埚顶盖的中部设有内部加热器；所述坩埚顶盖与所述旋转喷涂加热器可拆卸连接。
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