[发明专利]用新型低毒凝胶浇注制备大尺寸氧化锌基靶材的方法无效
| 申请号： | 201210473407.7 | 申请日： | 2012-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN102924077A | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 黄富强;龙胜;崔厚磊;曾毅 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 主分类号： | C04B35/453 | 分类号： | C04B35/453;C04B35/622 |
| 代理公司： | 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261 | 代理人： | 曹芳玲;郑优丽 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种用新型低毒凝胶浇注制备大尺寸氧化锌基靶材的方法，所述大尺寸氧化锌基靶材的化学组成为ZnO:X，其中，X=Al、Ga、In和/或Si，所述方法包括：将高纯无机粉体与预混液球磨混合以获得高流动性的稳定浆料，所述预混液包括甲基丙烯酰胺、N,N’二亚甲基双丙烯酰胺、聚丙烯酸铵和水；所述稳定浆料至少在引发剂的作用下凝固形成高强度的生坯；以及所述生坯经干燥工序、排胶工序和烧结工序处理得到所述大尺寸氧化锌基靶材；其中，所述排胶工序采用多段温度曲线形式的高温排胶。 | ||
| 搜索关键词： | 新型 低毒 凝胶 浇注 制备 尺寸 氧化锌 基靶材 方法 | ||
【主权项】：
一种用新型低毒凝胶浇注制备大尺寸氧化锌基靶材的方法，其特征在于，所述大尺寸氧化锌基靶材的化学组成为ZnO:X，其中，X = Al、Ga、In和/或Si，所述方法包括：将高纯无机粉体与预混液球磨混合以获得高流动性的稳定浆料，所述预混液包括甲基丙烯酰胺、N, N’‑二亚甲基双丙烯酰胺、聚丙烯酸铵和水；所述稳定浆料至少在引发剂的作用下凝固形成高强度的生坯；以及所述生坯经干燥工序、排胶工序和烧结工序处理得到所述大尺寸氧化锌基靶材；其中，所述排胶工序采用多段温度曲线形式的高温排胶。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院上海硅酸盐研究所，未经中国科学院上海硅酸盐研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210473407.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
