[发明专利]测量应力的包含磁弹性材料层的传感器以及制造层的方法

摘要

本发明公开了测量应力的包含磁弹性材料层的传感器以及制造层的方法。所述传感器用于测量由施加到承载构件上的力引起的应力。所述传感器包含形成于承载构件上的磁弹性材料层。所述层为不均匀的，且包含平均晶粒尺寸低于100nm且具有第一化学组分的第一相，以及具有显著不同化学组分的第二相(17)，第一相由第二相分割成平均尺寸在100nm到10000nm范围内的区域(18)，且所述区域中的多个区域具有低于1％的重量百分比的氧水平。本发明也涉及以至少300m/s的速度朝向承载构件的表面加速软磁性材料和平均尺寸在10μm到50μm范围内的磁弹性材料的颗粒，使得被加速颗粒的平均温度不高于所述磁弹性材料熔化温度以上500摄氏度，但是也不低于所述磁弹性材料的熔化温度以下500摄氏度。

主权项

一种传感器，其用于测量由施加到承载构件(1)上的力引起的应力，其中所述传感器包括形成于所述承载构件上的磁弹性材料层(3)，且所述传感器被设置用于：在所述磁弹性层中产生时变磁场，检测所述层中磁导率的变化，以及基于检测到的所述层中磁导率的变化而确定所述应力，其特征在于，所述层不均匀，且包含平均晶粒尺寸低于100nm且具有第一化学组分的第一相，以及具有显著不同化学组分的第二相(17)，所述第一相被所述第二相分割成平均尺寸在100nm到10000nm范围内的区域(18)，且所述区域中的多个区域具有低于1％的重量百分比的氧水平。