[发明专利]一种V型折叠悬臂梁结构的微颗粒称重传感器无效
| 申请号： | 201210467977.5 | 申请日： | 2012-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN102954829A | 公开（公告）日： | 2013-03-06 |
| 发明（设计）人： | 高仁璟;赵剑;张延康;朱传月;张莹;魏岩 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | G01G3/16 | 分类号： | G01G3/16;G01N5/02 |
| 代理公司： | 大连星海专利事务所 21208 | 代理人： | 花向阳 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种V型折叠悬臂梁结构的微颗粒称重传感器，属于精密颗粒质量探测传感器领域。该微质量传感器包括固定块、V型折叠悬臂梁结构和压电薄膜，其特征在于连接于固定块的V型折叠悬臂梁的上表面连接压电薄膜，以沿轴线布置的单个或多个V型折槽的顶部作为主探测点，并通过压电薄膜的数据输出来准确计算探测物的质量。V型折叠悬臂梁的引入，有效改变了传感器的刚度和有效质量分布状态，大幅度提高了传感器的探测灵敏度。具体算例表明，与传统矩形截面悬臂梁结构传感器相比，灵敏度可提升达227%。该微质量传感器具有结构简单、被测物定位准确、和灵敏度高等特点，因而可广泛用于原子、微小颗粒、环境灰尘及细菌或病毒等微生物细胞的探测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 折叠 悬臂梁 结构 颗粒 称重 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种V型折叠悬臂梁结构的微颗粒称重传感器，它主要包括V型折叠悬臂梁3、压电薄膜2和固定块1；其特征在于：V型折叠式悬臂梁3的上表面连接着压电薄膜2，并一端连接于固定块1，通过测量悬臂结构在吸附探测物前后的谐振频率差∆f，进而计算得到探测物的质量m。
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