[发明专利]压电器件及其制造方法有效
| 申请号： | 201210460295.1 | 申请日： | 2012-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN103187520A | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 藤井隆满;菱沼庆一 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/083 | 分类号： | H01L41/083;H01L41/277 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 陈松涛;韩宏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种压电器件，包括：基板；层积在基板上方的第一电极；层积在第一电极上方的第一压电膜；层积在第一压电膜上方的金属氧化物膜；层积在金属氧化物膜上方的金属膜；层积在金属膜上方的第二压电膜；以及层积在第二压电膜上方的第二电极。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种压电器件，包括：基板；层积在所述基板上方的第一电极；层积在所述第一电极上方的第一压电膜；层积在所述第一压电膜上方的金属氧化物膜；层积在所述金属氧化物膜上方的金属膜；层积在所述金属膜上方的第二压电膜；以及层积在所述第二压电膜上方的第二电极。
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