[发明专利]一种甩胶方法无效
| 申请号： | 201210456754.9 | 申请日： | 2012-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN103809381A | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 毛华军 | 申请（专利权）人： | 毛华军 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;B05D1/00;B05D3/12;B05D3/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 264006 山东省烟*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种甩胶方法，其特征在于，所述工艺步骤如下；将芯片放置真空吸盘上，打开真空吸盘开关；用洗耳球吹掉表面杂物，然后用滴管把光刻胶滴在片子的中心，将甩胶机转速设至700rpm，甩胶时间设为10秒钟，按下开始（START）按钮,甩胶机开始涂胶，离心力把光刻胶甩到表面的所有地方，多余的光刻胶从旋转中的晶片上被甩掉，光刻胶溶液黏着在晶片上形成一层均匀的薄膜；甩胶完成后，关掉真空吸盘开关，用滤纸将芯片取下，放至盛片盒中；将烤箱温度设为98℃，把芯片放置烤箱内烘烤20分钟。本发明通过对甩胶工艺进行改进，能够在甩胶时芯片上的胶膜更加的均匀，增加烘烤工艺，保证了胶膜的耐磨性及黏附性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 方法 | ||
【主权项】：
一种甩胶方法，其特征在于，所述工艺步骤如下： 将芯片放置真空吸盘上，打开真空吸盘开关；用洗耳球吹掉表面杂物，然后用滴管把光刻胶滴在片子的中心，将甩胶机转速设至700rpm，甩胶时间设为10秒钟，按下开始（START）按钮,甩胶机开始涂胶，离心力把光刻胶甩到表面的所有地方，多余的光刻胶从旋转中的晶片上被甩掉，光刻胶溶液黏着在晶片上形成一层均匀的薄膜；甩胶完成后，关掉真空吸盘开关，用滤纸将芯片取下，放至盛片盒中；将烤箱温度设为98℃，把芯片放置烤箱内烘烤20分钟。
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