[发明专利]一种稀土复合刚玉微粉抛光液无效
| 申请号： | 201210451511.6 | 申请日： | 2012-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN103113831A | 公开（公告）日： | 2013-05-22 |
| 发明（设计）人： | 詹学良 | 申请（专利权）人： | 湖北天马研磨材料有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 黄石市三益专利商标事务所 42109 | 代理人： | 饶建华 |
| 地址： | 438800 *** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及工业生产加工中使用的磨具，是一种稀土复合刚玉微粉抛光液，其特征是：其重量百分比组份为：稀土复合刚玉微粉15-40，聚乙二醇脂肪酸酯分散剂1-12，脂肪醇聚氧化烯醚1-15，乙醇10-20，四甲基氢氧化铵1-5，辅助剂1-10，着色剂1-5，余量为高纯去离子水；本发明抛光液可减少传统抛光对工件表面增加的不必要损害，避免金属离子污染，使用更安全，加工质量高、速度快，效果明显，抛光液特别适合用于加工集成电路芯片、硅片。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 稀土 复合 刚玉 抛光 | ||
【主权项】：
一种稀土复合刚玉微粉抛光液，其特征是：其重量百分比组份为：稀土复合刚玉微粉15‑40，聚乙二醇脂肪酸酯分散剂1‑12，脂肪醇聚氧化烯醚1‑15，乙醇10‑20，四甲基氢氧化铵1‑5，辅助剂1‑10，着色剂1‑5，余量为高纯去离子水。
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