[发明专利]用于晶圆级相机的晶圆间隔件及其制造方法有效
| 申请号： | 201210430686.9 | 申请日： | 2012-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN103105730A | 公开（公告）日： | 2013-05-15 |
| 发明（设计）人： | 乔治·巴恩斯;戈兰·劳克 | 申请（专利权）人： | 全视技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03B17/12 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 余朦;王艳春 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于晶圆级相机的晶圆间隔件、包括晶圆间隔件的晶圆级相机及制造晶圆间隔件的方法，包括：在基板上形成光刻胶层；通过限定至少一个晶圆级相机元件的间隔件几何结构使光刻胶层在辐射下曝光。显影光刻胶层，以使光刻胶层是用于晶圆级相机的晶圆间隔件。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 晶圆级 相机 间隔 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种制造用于晶圆级相机的晶圆间隔件的方法，包括：在基板上形成光刻胶层；通过掩模使所述光刻胶层在辐射下曝光，所述掩模限定至少一个晶圆级相机元件的间隔件几何形状；以及显影所述光刻胶层，以使所述光刻胶层是用于所述晶圆级相机的所述晶圆间隔件。
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