[发明专利]一种超精密机床的垂直运动轴系

摘要

一种超精密机床的垂直运动轴系，它涉及一种机床的垂直运动轴系。本发明为了解决传统垂直运动轴系难以适用于面向复杂微细结构加工的超精密机床的问题。两个立柱并列设置在X轴溜板上，垂直运动轴中溜板滑动连接在两个立柱之间，垂直运动轴中溜板的前侧安装有垂直运动轴前溜板，后侧安装有垂直运动轴后溜板，气体静压主轴和主轴电机座装在贯穿圆孔内，气体静压主轴的后端与主轴电机座内的主轴电机连接，横梁安装在两个立柱的上端面上，丝杠轴承座装在中心孔上，丝杠轴承座上装有力矩电机，滚珠丝杠的下端与置于横梁下方的丝杠螺母座相连接，滚珠丝杠的上端与力矩电机连接，垂直运动轴中溜板与X轴溜板之间连接有卸荷气缸。本发明用于超精密机床中。

主权项

一种超精密机床的垂直运动轴系，其特征在于：一种超精密机床的垂直运动轴系包括气体静压主轴(1)、垂直运动轴溜板、丝杠螺母座(4)、力矩电机(5)、滚珠丝杠(6)、丝杠轴承座(7)、横梁(8)、主轴电机座(11)、卸荷气缸(12)、主轴电机(15)和两个立柱(10)，垂直运动轴溜板的纵向高度小于立柱(10)的纵向高度，垂直运动轴溜板包括垂直运动轴前溜板(32)、垂直运动轴中溜板(31)和垂直运动轴后溜板(13)，两个立柱(10)左右并列设置在X轴溜板(22)上，垂直运动轴中溜板(31)滑动连接在两个立柱(10)之间，立柱(10)为垂直运动轴中溜板(31)提供导轨功能，垂直运动轴中溜板(31)的前侧安装有垂直运动轴前溜板(32)，垂直运动轴中溜板(31)的后侧安装有垂直运动轴后溜板(13)，垂直运动轴前溜板(32)、垂直运动轴中溜板(31)和垂直运动轴后溜板(13)的中心均开有贯穿圆孔(14)，气体静压主轴(1)安装在垂直运动轴前溜板(32)和垂直运动轴中溜板(31)的贯穿圆孔(14)内，主轴电机座(11)安装在垂直运动轴中溜板(31)和垂直运动轴后溜板(13)的贯穿圆孔(14)内，主轴电机(15)安装在主轴电机座(11)内，气体静压主轴(1)的后端与主轴电机座(11)内的主轴电机(15)连接，横梁(8)安装在两个立柱(10)的上端面上，横梁(8)的中心开有中心孔(16)，丝杠轴承座(7)安装在中心孔(16)上，丝杠轴承座(7)上安装有力矩电机(5)，滚珠丝杠(6)的下端穿过丝杠轴承座(7)和横梁(8)的中心孔(16)与置于横梁(8)下方的丝杠螺母座(4)相连接，丝杠螺母座(4)安装在垂直运动轴中溜板(31)上，滚珠丝杠(6)的上端与力矩电机(5)连接，滚珠丝杠(6)由力矩电机(5)驱动，所述垂直运动轴中溜板(31)与X轴溜板(22)之间连接有卸荷气缸(12)。