[发明专利]采用平行光管拼接检测超大口径反射镜面形误差的方法

摘要

采用平行光管拼接检测超大口径反射镜面形误差的方法，涉及一种检测大口径反射镜，解决现有采用子孔径拼接方法对大口径尤其是超大口径的平面镜拼接测量时需要几百甚至上千个，导致误差累积且测试时间长的问题，干涉仪出射的标准球面波经过大口径平行光管后转化为大口径的平面波前出射，通过精确调整出射光瞳与待测大口径反射镜的相对位置，使出射波面逐次入射到待测大口径反射镜的各子孔径区域并返回干涉仪，由此得到各子孔径相位分布数据；计算机提取干涉仪测量的各子孔径相位分布数据进行分析和处理，并通过三角剖分和全局优化的拼接算法获得待测大口径反射镜全口径的面形误差分布。本方法实现对超大口径反射镜的面形检测，测试成本低、效率高。

主权项

采用平行光管拼接检测超大口径反射镜面形误差的方法，其特征是，该方法由以下步骤实现： 步骤一、干涉仪（1）出射的标准球面波经大口径平行光管（2）后转化为标准平面波，在所述平面波的出射光瞳处放置高精度的标准平面反射镜（6），通过精确调整标准平面反射镜（6）与大口径平行光管（2）的位置，使大口径平行光管（2）出射的平面波经标准平面反射镜（6）后被干涉仪（1）接收，所述干涉仪（1）测得大口径平行光管（2）的像差分布数据；步骤二、采用待测大口径反射镜（3）替换步骤一中高精度的标准平面反射镜（6），所述干涉仪（1）出射的标准球面波经过大口径平行光管（2）后转化为大口径的平面波，调整大口径的平面波的出射光瞳与待测大口径反射镜（3）的相对位置，使出射的平面波逐次入射到待测大口径反射镜（3）的各子孔径区域后返回干涉仪（1）；采用干涉仪（1）测得的数据减去步骤一测得的大口径平行光管（2）的像差分布数据；获得待测大口径反射镜（3）的各子孔径区域的相位分布数据；步骤三、计算机提取干涉仪（1）测量获得的待测大口径反射镜（3）的各子孔径相位分布数据，并对各子孔径的相位分布数据采用三角剖分和全局优化的拼接算法获得待测大口径反射镜（3）全口径的面形误差。