[发明专利]一种晶硅太阳能电池梯度折射率减反膜及其制备方法

摘要

本发明公开了一种晶硅太阳能电池梯度折射率减反膜，该梯度折射率减反膜设置于晶硅太阳能电池硅基衬底上；所述梯度折射率减反膜上设有玻璃EVA封装膜；所述梯度折射率减反膜由下自上包括第一层薄膜，第二层薄膜和第三层薄膜。本发明梯度折射率减反膜折射率在膜厚方向上按照三次方关系梯度变化；折射率变化趋势由三层具有特定折射率的膜层体现；三层具有特定折射率的膜层均由同一材料组成；三层膜层的折射率和厚度采取控制物理气相沉积的靶面与硅片表面夹角，以及沉积时间来实现。该梯度折射率减反膜具有宽光谱、光角谱减反射效果，且制备方法简单易于工业化生产。

主权项

一种晶硅太阳能电池梯度折射率减反膜，其特征在于，所述梯度折射率减反膜（2）设置于晶硅太阳能电池硅基衬底（1）上；所述梯度折射率减反膜（2）上设有玻璃EVA封装膜（3）；所述梯度折射率减反膜（2）由下自上包括第一层薄膜（21），第二层薄膜（22）和第三层薄膜（23）；所述三层薄膜中任一层薄膜的折射率函数为：n=nsi‑(nsi‑nglass)(Ax+Bx2+Cx3)，其中n为该层薄膜的折射率，x为该层薄膜上表面与硅基衬底（1）上表面的距离，A、B和C为相同或不同的常数，nsi为硅基衬底（1）的折射率，nglass为玻璃EVA封装膜（3）的折射率。