[发明专利]集成电路测试系统及测试方法有效
申请号: | 201210413616.2 | 申请日: | 2012-10-25 |
公开(公告)号: | CN103777131A | 公开(公告)日: | 2014-05-07 |
发明(设计)人: | 顾良波;张志勇;余琨;王锦;叶建明;郝丹丹 | 申请(专利权)人: | 上海华岭集成电路技术股份有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 周耀君 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供了一种集成电路测试系统及测试方法,其中,所述集成电路测试系统包括:多台测试机及一台探针台,所述探针台与所述多台测试机信号连接;当探针台定位到一待测芯片后,所述探针台同时向所述多台测试机发送SOT信号。在此,采用了多台测试机,由此便能减少对待测芯片的检测周期,提高检测效率,降低检测成本。 | ||
搜索关键词: | 集成电路 测试 系统 方法 | ||
【主权项】:
一种集成电路测试系统,其特征在于,包括:多台测试机及一台探针台,所述探针台与所述多台测试机信号连接;当探针台定位到一待测芯片后,所述探针台同时向所述多台测试机发送SOT信号。
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