[发明专利]装载装置

摘要

一种装载装置，包括：腔室，腔室侧壁具有输入阀门；对应输入阀门设置的机械手，机械手与第一驱动装置连接，用于支撑晶圆自输入阀门外水平传递至腔室内；位于腔室内的基座，基座与第二驱动装置连接，用于带动基座相对于腔室上下移动；固定于基座表面且若干重叠设置的卡槽，卡槽用于将晶圆固定于基座上方；固定于卡槽和输入阀门之间的传感器，传感器低于机械手的标准水平位置，且传感器高于在机械手下一层的晶圆表面，机械手的标准水平位置为机械手未发生偏移时，机械手经过输入阀门进入腔室后的水平位置；传感器与第一驱动装置连接，根据传感器产生的信号控制第一驱动装置停止机械手的运动。所述装载装置能够避免划伤晶圆。

主权项

一种装载装置，其特征在于，包括：腔室，所述腔室侧壁具有输入阀门；对应所述输入阀门设置的机械手，所述机械手与第一驱动装置连接，用于支撑晶圆自输入阀门外水平传递至腔室内；位于所述腔室内的基座，所述基座与第二驱动装置连接，用于带动所述基座相对于所述腔室上下移动；固定于所述基座表面且若干重叠设置的卡槽，所述卡槽用于将晶圆固定于基座上方；固定于卡槽和输入阀门之间的传感器，所述传感器低于所述机械手的标准水平位置，且所述传感器高于位于所述机械手下一层的晶圆表面，所述机械手的标准水平位置为所述机械手未发生偏移时，机械手经过输入阀门进入腔室后的水平位置；所述传感器与第一驱动装置连接，根据所述传感器产生的信号控制所述第一驱动装置停止所述机械手的运动。