[发明专利]碱可溶树脂及其制备方法、光致抗蚀剂有效
| 申请号： | 201210385013.6 | 申请日： | 2012-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN102898561A | 公开（公告）日： | 2013-01-30 |
| 发明（设计）人： | 王雪岚;薛建设;刘宸;陆金波 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C08F20/00 | 分类号： | C08F20/00;C08F8/32;C08F8/14;G03F7/004;G03F7/027 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 钟晶;於毓桢 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种碱可溶树脂及其制备方法、光致抗蚀剂。本发明所提供的碱可溶树脂是修饰有β-环糊精或β-环糊精衍生物的碱可溶树脂，所述β-环糊精或β-环糊精衍生物通过酯键或酰胺键与碱可溶树脂结合。该碱可溶树脂可用于制备光致抗蚀剂。本发明的碱可溶树脂有助于光致抗蚀剂的稳定性提高；并有助于显影性质提升，减少残渣的产生，得到的图形表面均一，光滑平整。 | ||
| 搜索关键词： | 可溶 树脂 及其 制备 方法 光致抗蚀剂 | ||
【主权项】：
一种碱可溶树脂，其特征在于，是修饰有β‑环糊精或β‑环糊精衍生物的碱可溶树脂，所述β‑环糊精或β‑环糊精衍生物通过酯键或酰胺键与碱可溶树脂结合。
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