[发明专利]硼锌氧化物溅镀靶材及其应用有效
| 申请号： | 201210384229.0 | 申请日： | 2012-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN103726015A | 公开（公告）日： | 2014-04-16 |
| 发明（设计）人： | 刘砚鸣;张智咏;徐惠缨 | 申请（专利权）人： | 光洋应用材料科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 丁香兰;姚亮 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种硼锌氧化物溅镀靶材及其应用。为克服传统硼锌氧化物溅镀靶材无法使用高溅镀速率的直流溅镀工艺形成硼锌氧化物薄膜的问题，本发明提供一种硼锌氧化物溅镀靶材，其BZO溅镀靶材的硼含量相对于硼与锌的含量和为1.15原子百分比至6.74原子百分比，且BZO溅镀靶材的二次相面积占硼锌氧化物溅镀靶材的面积的2%至25%。本发明是将硼锌氧化物溅镀靶材的二次相面积控制于适当的范围内，使其能够经由直流溅镀工艺提升溅镀速率，并藉此形成一种于可见光区域的光穿透率高于80%且电阻率低于1×10-2Ω·cm的硼锌氧化物薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化物 溅镀靶材 及其 应用 | ||
【主权项】：
一种硼锌氧化物溅镀靶材，其中，硼含量相对于硼与锌的含量和为1.15原子百分比至6.74原子百分比，且该硼锌氧化物溅镀靶材中包含一基底相及一二次相，该二次相的面积占硼锌氧化物溅镀靶材的面积的2%至25%。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于光洋应用材料科技股份有限公司，未经光洋应用材料科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210384229.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：绣花机机头用同步压脚装置
- 下一篇：一种油量检测装置
- 同类专利
- 专利分类
