[发明专利]石英玻璃真空脱羟用抽真空装置及方法及石英玻璃真空脱羟炉无效
| 申请号： | 201210380932.4 | 申请日： | 2012-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN102992596A | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | 陈士斌;周明强;徐同根;宁井班 | 申请（专利权）人： | 江苏太平洋石英股份有限公司 |
| 主分类号： | C03B20/00 | 分类号： | C03B20/00 |
| 代理公司： | 江苏银创律师事务所 32242 | 代理人： | 何震花 |
| 地址： | 222342 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型石英玻璃真空脱羟用抽真空装置，包括直联旋片泵和分子增压泵；当直联旋片泵首先启动并且将炉体内的压强抽至200Pa以下时，分子增压泵开始启动并将炉体内压强抽至10-3Pa以下。本发明还公开了一种石英玻璃真空脱羟炉，包括炉体和与炉体相连接的上述的石英玻璃真空脱羟用抽真空装置。本发明还公开了一种石英玻璃真空脱羟炉用抽真空方法，首先开启直联旋片泵，将炉体内的压强抽至200Pa以下；然后开启分子增压泵，将炉体内压强抽至10-3Pa以下。本发明能够降低抽气功率，提高极限真空度，降低生产成本，改善工作环境。 | ||
| 搜索关键词： | 石英玻璃 真空 脱羟用抽 装置 方法 脱羟炉 | ||
【主权项】：
一种新型石英玻璃真空脱羟用抽真空装置，其特征在于：包括直联旋片泵和与直联旋片泵相连并且在低于200Pa的压强下能够启动的分子增压泵；当直联旋片泵首先启动并且将炉体内的压强抽至200Pa以下时，分子增压泵开始启动并将炉体内压强抽至10‑3Pa以下。
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