[发明专利]偶数窄缝式光电自准直仪

摘要

本发明提供了一种精度高、可靠性好的偶数窄缝式光电自准直仪。该偶数窄缝式光电自准直仪，包括在主光路上依次设置的单色光源（1）、窄缝组（2）、分光镜（3）、准直物镜（4）、可转动的平面反射镜（5）以及在分光镜分光光路上设置的线阵CCD（6），所述窄缝组（2）为偶数窄缝，偶数窄缝由多个等宽度且等间距的平行单狭缝组成，平行单狭缝的数目p为：p=2^k，各平行单狭缝的间距为：本发明可广泛应用于高精度小角度精度测试，反射镜动静态小角度误差高精度测量、角位移传感器角度标校、光学平面冷加工件的小角度测量、高精度台面或工件的垂直度/平面度的高精度测量等。

主权项

1.偶数窄缝式光电自准直仪，包括在主光路上依次设置的单色光源（1）、窄缝组（2）、分光镜（3）、准直物镜（4）、可转动的平面反射镜（5）以及在分光镜分光光路上设置的线阵CCD（6），窄缝组（2）与线阵CCD（6）共轭，光源（1）发出的光通过窄缝组（2）、经分光镜透射后在平面反射镜（5）反射回分光镜分光，成像于线阵CCD（6）处；其特征在于：所述窄缝组（2）为偶数窄缝，偶数窄缝由多个等宽度且等间距的平行单狭缝组成，平行单狭缝的数目p为：p=2^k，其中，k=1,2,3,…；各平行单狭缝的间距为：其中，n=1,2,3,…;p=2^k为单狭缝数量，P_d为CCD像元间距。