[发明专利]洁净室及其净化单元有效
| 申请号： | 201210364869.5 | 申请日： | 2012-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN102864952A | 公开（公告）日： | 2013-01-09 |
| 发明（设计）人： | 蒋运芍;吴俊豪;林昆贤;汪永强;舒志优;郭振华 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | E04H5/02 | 分类号： | E04H5/02;F24F7/007;B01D50/00;B01D46/00 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人： | 何青瓦 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市光明新区公*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种洁净室，用于存放玻璃基板，其中，该洁净室包括排风口和净化单元，该排风口设于该洁净室的底部；该净化单元设于该洁净室的顶部，该净化单元用于向该洁净室提供洁净的离子风以消除该玻璃基板表面的静电和该洁净室内的粒子。此外，本发明还公开了一种净化单元。本发明公开的洁净室及其净化单元可以有效地去除洁净室内的静电和粒子，提高产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 洁净室 及其 净化 单元 | ||
【主权项】：
一种洁净室，用于存放玻璃基板，其特征在于，所述洁净室包括：排风口，设于所述洁净室的底部；净化单元，设于所述洁净室的顶部，所述净化单元用于向所述洁净室提供洁净的离子风以消除所述玻璃基板表面的静电和所述洁净室内的粒子。
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