[发明专利]基板检测及修复装置

摘要

本发明公开了一种基板检测及修复装置。本发明涉及的基板检测及修复装置，通过旋转用于承载支撑基板的检测单元而将基板竖立起来，从而拉近基板与操作者之间的距离，并能够将操作者对基板的视线角度设定为舒适的角度。因此具有检测操作非常方便的效果。而且，基板支撑固定在检测单元上，而检测单元的探针在基板的下侧进行升降的同时与基板的电极线连接或不连接。即，具有小尺寸和小体积的探针在进行升降，且探针设置在检测单元的内部，因此，具有缩减设置基板检测及修复装置的空间的效果。而且，不需要用于移动基板的高价装置，可降低基板检测及修复装置的成本。

主权项

一种基板检测及修复装置，其特征在于，包括：工作台；检测单元，被设置在所述工作台上，并承载支撑着形成有阳极线和阴极线的基板，且具有向所述基板供给电源的多个探针，用于检测所述基板有无缺陷；修复单元，以能够沿X轴方向和Y轴方向移动的方式设置在所述工作台上，以修复所述基板的缺陷部位；所述检测单元被设置成，在所述工作台上能够以一侧面为基准使另一侧面旋转，所述探针位于所述基板的下侧，设置成可升降，并与所述基板的所述阳极线和所述阴极线连接或不连接。