[发明专利]制备结构化开放网络抛光垫的方法

摘要

本发明是一种制备层状开放网络抛光垫的方法，所述抛光垫用于对磁性基材、半导体基材和光学基材中的至少一种进行抛光。使得可光致固化聚合物的第一和第二聚合物板或膜受能源作用，在第一和第二聚合物板中产生作用图案。所述作用图案具有受能源作用的拉长的部分。曝光时间足以固化可光致固化聚合物，但是不足以使得相邻拉长的部分固化在一起。使得第一和第二聚合物板附着，形成第一和第二聚合物板的图案交叉的抛光垫。对层状开放网络抛光垫进行固化，以使得层状开放网络抛光垫与第一和第二板固定，其具有足够的硬度，以减小弯垂并维持拉长通道和聚合物板的平行平面之间的正交关系。

主权项

一种制备层状开放网络抛光垫的方法，所述抛光垫用于对磁性基材、半导体基材和光学基材中的至少一种进行抛光，该方法包括：a)提供可光致固化聚合物的第一和第二聚合物板或膜，所述第一和第二聚合物板或膜具有厚度；b)使得第一和第二聚合物板受能源作用，以在所述第一和第二聚合物板中产生作用图案，所述作用图案具有受能源作用的拉长的部分，曝光时间足以固化可光致固化聚合物，不足以使得相邻拉长部分固化在一起；c)从受作用的第一和第二聚合物板去除聚合物，以形成通过第一和第二聚合物板的拉长的通道，该拉长的通道的通道图案对应于作用图案，拉长的通道延伸通过第一和第二聚合物的厚度；d)使得第一和第二聚合物板附着以形成抛光垫，第一和第二聚合物板的图案交叉，其中第一聚合物板支撑第二聚合物板，而来自第一和第二聚合物板的拉长的通道在平行平面内连接，以形成层状开放网络抛光垫，其中一个聚合物板形成抛光表面；以及e)对层状开放网络抛光垫进行固化，以使得层状开放网络抛光垫与第一和第二板固定，其具有足够的硬度，以减小弯垂并维持拉长通道和聚合物板的平行平面之间的正交关系。