[发明专利]颗粒状蒸镀材及蒸镀膜的成膜方法以及蒸镀膜无效
| 申请号： | 201210358607.8 | 申请日： | 2012-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN103160784A | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 吉田勇气;樱井英章 | 申请（专利权）人： | 三菱综合材料株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 康泉;王珍仙 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于通过真空蒸镀法以高成膜率且低喷溅成膜氧化物薄膜的颗粒状蒸镀材及蒸镀膜的成膜方法以及利用该蒸镀材成膜的蒸镀膜。本发明的颗粒状蒸镀材，其特征在于，该颗粒状蒸镀材由对纯度为98%以上且小于100%的WO3-x原料粉末（其中，0≤x≤1。）进行造粒处理而形成的平均粒径为1～10mm的颗粒体构成。并且，本发明的蒸镀膜的成膜方法，其特征在于，该成膜方法利用上述颗粒状蒸镀材，通过电阻加热法、电子束蒸镀法或反应性等离子体蒸镀法来进行成膜。 | ||
| 搜索关键词： | 颗粒状 蒸镀材 镀膜 方法 以及 | ||
【主权项】：
一种颗粒状蒸镀材，其中，该颗粒状蒸镀材由对纯度为98%以上且小于100%的WO3‑x原料粉末进行造粒处理而形成的平均粒径为1～10mm的颗粒体构成，其中，0≤x≤1。
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