[发明专利]一种多晶硅片制绒液及制绒方法无效
| 申请号： | 201210355019.9 | 申请日： | 2012-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN103668466A | 公开（公告）日： | 2014-03-26 |
| 发明（设计）人： | 刘桂林;吴文娟;朱海东 | 申请（专利权）人： | 无锡尚德太阳能电力有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C23F1/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214028 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种多晶硅片制绒液及制绒方法。现有技术中多晶硅片制绒液仅含氧化剂和氢氟酸，造成反应速度较慢，另会对缺陷较多区域过腐蚀而形成腐坑或毛刺，导致制绒后的硅片表面不平整且绒面不均匀，从而造成后续丝网印刷时硅片易碎。本发明的多晶硅片制绒液包括氧化剂、氢氟酸和表面活性剂；本发明的多晶硅片制绒方法先提供具制绒槽的制绒设备，该制绒槽中盛放有上述多晶硅片制绒液，接着提供待制绒硅片且在所述硅片表面涂覆金属催化剂，之后将所述硅片传送至制绒槽进行10～40s的腐蚀制绒。本发明可提高多晶硅片的制绒速度及制绒后的表面平整度和绒面均匀性，且表面无明显黑丝及晶界，从而有效降低后续工艺的碎片率、减少表面复合并提高电池效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 硅片 制绒液 方法 | ||
【主权项】：
一种多晶硅片制绒液，其特征在于，该多晶硅片制绒液包括氧化剂、氢氟酸和表面活性剂。
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