[发明专利]一种双向平动机构及区熔单晶炉

摘要

本发明涉及区熔单晶硅技术领域，公开了一种双向平动机构，包括平动下板，固定于区熔单晶炉的上炉室；平动中板，与平动下板滑动装配；平动上板，与区熔单晶炉的上传动固定连接，且与平动中板滑动装配；驱动平动中板滑动的第一驱动装置，与平动下板相对固定；驱动平动上板滑动的第二驱动装置，与平动中板相对固定；平动中板相对平动下板的滑动方向与平动上板相对平动中板的滑动方向相互交叉；平动上板、平动中板和平动下板均具有贯穿其厚度方向的通孔。具有上述双向平动机构的区熔单晶炉，其上传动的上轴可以实现多个方向上的运动且可以自动对中，提高拉制单晶硅的成品率和气相掺杂的端面均匀性，保证晶体的高品质。本发明还提供了一种区熔单晶炉。

主权项

一种用于区熔单晶炉的双向平动机构，其特征在于，包括：平动下板，固定于所述区熔单晶炉的上炉室；平动中板，与所述平动下板滑动装配；平动上板，与所述区熔单晶炉的上传动固定连接，且与所述平动中板滑动装配；驱动所述平动中板滑动的第一驱动装置，与所述平动下板相对固定；驱动所述平动上板滑动的第二驱动装置，与所述平动中板相对固定；所述平动中板相对所述平动下板的滑动方向与所述平动上板相对所述平动中板的滑动方向相互交叉；所述平动上板、所述平动中板和所述平动下板均具有贯穿其厚度方向的通孔。