[发明专利]一种基于白光干涉定位原理的比较仪及其检测方法

摘要

本发明公开了一种基于白光干涉定位原理的比较仪及其测量方法，该比较仪包括测量探针、测量物镜、干涉显微镜、垂直扫描工作台、滑块、CCD成像单元、立柱、移动量检测单元以及水平工作台，其中垂直扫描工作台设置在立柱上，并由粗驱机构上下驱动；干涉显微镜和CCD成像单元固定在设置于垂直扫描工作台的滑块上，并由精驱机构上下驱动；移动量检测单元对滑块的移动量进行检测输出；测量探针可绕枢轴转动地设置在与干涉显微镜镜体竖直相连的支撑杆上，用于对被测对象相接触；测量物镜用于对光进行汇聚并形成干涉条纹。通过本发明，能够充分利用白光干涉定位的高精度特性来获得高度测量结果，同时具备结构简单、便于操作，以及测量精度高和成本低等特点。

主权项

一种基于白光干涉定位原理的比较仪，该比较仪包括测量探针（1）、测量物镜（3）、干涉显微镜（5）、垂直扫描工作台（7）、滑块（8）、CCD成像单元（9）、立柱（11）、移动量检测单元（15）和水平工作台（19），其特征在于：所述垂直扫描工作台（7）设置在与水平工作台（19）竖直相连的所述立柱（11）上，并由第一驱动机构予以上下驱动；所述干涉显微镜（5）和CCD成像单元（9）通过连接套筒（6）相连，并一同固定于所述滑块（8），其中滑块（8）设置在垂直扫描工作台（7）上并由第二驱动机构予以上下驱动，干涉显微镜（5）处于连接套筒（6）的下部用于形成光的干涉条纹，CCD成像单元（9）处于连接套筒（6）的上部用于对所产生的干涉条纹执行成像显示；所述移动量检测单元（15）设置在垂直扫描工作台（7）上，用于对滑块（8）在垂直方向上相对于垂直扫描工作台（7）的移动量予以检测输出；所述测量探针（1）可绕枢轴转动地设置在与所述干涉显微镜（5）竖直相连的支撑杆（4）上，其前端具有用于与被测对象表面相接触的探针针尖，后端具有平面反射镜；所述测量物镜（3）固定安装在所述干涉显微镜（5）的下部并处于所述测量探针（1）后端的平面反射镜上方，用于对来自干涉显微镜（3）的光或由所述平面反射镜反射的光进行汇聚；所述水平工作台（19）设置在所述测量探针（1）下方，用于放置被测对象（21）。