[发明专利]一种复合透明导电薄膜有效

专利信息
申请号: 201210326857.3 申请日: 2012-09-06
公开(公告)号: CN102881357A 公开(公告)日: 2013-01-16
发明(设计)人: 徐苗;徐华;赵铭杰;王琅;兰林锋;彭俊彪 申请(专利权)人: 广州新视界光电科技有限公司
主分类号: H01B5/14 分类号: H01B5/14;H01B1/08
代理公司: 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 代理人: 方振昌
地址: 510663 广东省广州市高新技术*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种复合透明导电薄膜,其包括相互叠加的两层或两层以上的透明薄膜,相邻的两层透明薄膜之间设有一层插入层;所述的透明薄膜为ITO薄膜、AZO薄膜、IZO薄膜中的一种。本发明采用ITO/插入层/ITO的多层复合结构有效地抑制了ITO薄膜随着厚度的增加而呈结晶态,进而得到可使用弱酸对其刻蚀图案化的复合透明导电薄膜;通过增加ITO/插入层……插入层/ITO这样的多层结构的层数,能够有效的降低透明导电薄膜的方块电阻;作为插入层的氧化物薄膜通常对于可见光部分具有良好的透过率,因此,使用该结构并不会影响透明导电薄膜的透过率特性。
搜索关键词: 一种 复合 透明 导电 薄膜
【主权项】:
一种复合透明导电薄膜,其特征在于:其包括相互叠加的两层或两层以上的透明薄膜,相邻的两层透明薄膜之间设有一层插入层;所述的透明薄膜为ITO薄膜、AZO薄膜、IZO薄膜中的一种。
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