[发明专利]液体涂布装置、图案修正装置、细微图案描画装置及液体涂布方法无效
| 申请号： | 201210325675.4 | 申请日： | 2012-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN102974496A | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 坂田清悟 | 申请（专利权）人： | NTN株式会社 |
| 主分类号： | B05B17/04 | 分类号： | B05B17/04;B05B17/06;B05B5/08;B05D1/04 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 胡晓萍 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供液体涂布装置、具有该液体涂布装置的图案修正装置及细微图案描画装置、以及液体涂布方法，例如在使用于平板显示器的基板上所产生的缺陷的修正等时，不用在涂布针与涂布对象物之间形成较强的电场，通过使供给至涂布针的液体材料脱离该涂布针，就能将液体材料涂布在涂布对象物上。液体涂布装置(5)包括：涂布针(20)；以及超声波发生器(22a)，该超声波发生器(22a)在利用涂布针(20)涂布液体材料时使涂布针(20)振动。 | ||
| 搜索关键词： | 液体 装置 图案 修正 细微 描画 方法 | ||
【主权项】：
一种液体涂布装置，其特征在于，包括：涂布针；以及振动产生装置，该振动产生装置在利用所述涂布针涂布液体材料时使所述涂布针振动。
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