[发明专利]晶圆级单支点电容式加速度计性能参数在线评估方法

摘要

本发明涉及一种晶圆级单支点电容式加速度计性能参数在线评估方法，其包括电荷放大单元、检波电路单元、低通滤波单元、PID控制单元、求和放大单元、正反向两路放大器。电荷放大单元通过探针卡与单支点电容式加速度计相连接。检波电路单元与电荷放大单元相连接。低通滤波单元与电荷放大单元相连接。PID控制单元与低通滤波单元相连接。求和放大单元与PID控制单元相连接，输出端与低频频谱分析仪相连接。正反向两路放大器与求和放大单元相连接，两个输出端分别与单支点电容式加速度计的支点两侧的极板相连接。本发明快捷便利，只要变动电路中的参数即可实现对单支点电容式加速度计的性能参数的调节和评估，可靠性高，适应生产和工程化过程中的需求。

主权项

一种晶圆级单支点电容式加速度计性能参数在线评估方法，用于对晶圆级的单支点电容式加速度计的性能参数进行在线评估和调试，其特征在于：其包括电荷放大单元，所述的电荷放大单元通过探针卡与所述的单支点电容式加速度计相连接，所述的电荷放大单元将所述的单支点电容式加速度计输出的电容信号转换为电荷信号；检波电路单元，所述的检波电路单元与所述的电荷放大单元的输出端相连接，所述的检波电路单元对所述的电荷放大单元所输出的电荷信号进行调制解调；低通滤波单元，所述的低通滤波单元与所述的电荷放大单元的输出端相连接，所述的低通滤波单元将经过调制解调的电荷信号进一步放大并滤除载波信号，输出直流信号，所述的低通滤波单元的输出即为开环输出；PID控制单元，所述的PID控制单元与所述的低通滤波单元的输出端相连接，所述的PID控制单元将开环输出的信号进行PID控制；求和放大单元，所述的求和放大单元与所述的PID控制单元的输出端相连接，所述的求和放大单元对所述的PID控制单元的输出信号进行求和放大，所述的求和放大单元的输出即为闭环输出并与低频频谱分析仪相连接；正反向两路放大器，所述的正反向两路放大器的输入端与所述的求和放大单元的输出端相连接，所述的正反向两路放大器的两个输出端分别与所述的单支点电容式加速度计的支点两侧的极板相连接。