[发明专利]具有穿孔振膜的声换能器有效
| 申请号： | 201210320293.2 | 申请日： | 2012-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN102984632A | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 伊丽丝·博米纳-西尔金斯;安德鲁斯·瓦斯克斯库田特罗;克劳斯·莱曼;特温·范利庞;雷默克·亨里克斯·威廉默斯·皮内伯格 | 申请（专利权）人： | NXP股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R9/06 | 分类号： | H04R9/06;H04R9/02;H04R7/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王波波 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种MEMS器件(诸如麦克风)使用固定的穿孔板。所述固定板包括在所述板区域上的孔阵列。与所述外围相邻的至少一组的孔包括多行延长孔，所述行相距所述外围不同的距离。这种设计提高了所述振膜的机械鲁棒性并且可以额外地允许所述板的机械行为的调谐。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 穿孔 声换能器 | ||
【主权项】：
一种MEMS器件，包括由间隙间隔开的固定振膜(105)和可移动振膜(103)，其中感测或者控制所述可移动振膜(103)的移动以提供所述器件的操作，其中所述固定振膜(105)包括在所述振膜区域上的孔阵列，其中与所述固定振膜外围相邻地设置的至少一组孔包括多行的延长孔，所述行与所述外围相距不同的距离。
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