[发明专利]一种大气压直流弧放电等离子体发生装置

摘要

本发明公开了一种大气压直流弧放电等离子体发生装置，包括放电腔室，在放电腔室的上方设有LaB6阴极和钨阴极，在放电腔室的顶部、LaB6阴极与钨阴极之间设有与工作气体源连接的气体源接口，在放电腔室的底部设有绝缘层，在绝缘层下设有水冷板，在水冷板的下方安装有设有阳极喷嘴的阳极，在LaB6阴极、钨阴极和阳极上设有与直流电源连接的接头，在绝缘层和水冷板中设有能使阳极与放电腔室相同的通道。本发明不仅具有既能降低产生等离子体的功率、同时又能保证产生高密度等离子体的优点，而且还具有电源能量转换率高、操作和维护都方便、使用寿命长、设备简单等优点。本发明特别适合进行快速薄膜沉积使用。

主权项

一种大气压直流弧放电等离子体发生装置，包括放电腔室（5），其特征在于：在放电腔室（5）的上方设有LaB6阴极（2）和钨阴极（4），在放电腔室（5）的顶部、LaB6阴极（2）与钨阴极（4）之间设有与工作气体源连接的气体源接口（3），在放电腔室（5）的底部设有绝缘层（7），在绝缘层（7）下设有水冷板（8），在水冷板（8）的下方安装有设有阳极喷嘴（10）的阳极（9），在LaB6阴极（2）、钨阴极（4）和阳极（9）上设有与直流电源连接的接头，在绝缘层（7）和水冷板（8）中设有能使阳极（9）与放电腔室（5）相同的通道（1）。