[发明专利]燃烧化学气相沉积装置及装饰品的制造方法无效
| 申请号： | 201210308762.9 | 申请日： | 2012-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN102965642A | 公开（公告）日： | 2013-03-13 |
| 发明（设计）人： | 西村贤二 | 申请（专利权）人： | 日本写真印刷株式会社 |
| 主分类号： | C23C16/453 | 分类号： | C23C16/453 |
| 代理公司： | 北京天悦专利代理事务所(普通合伙) 11311 | 代理人： | 吴京顺;田明 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种燃烧化学气相沉积装置及装饰品的制造方法，防止异物附着到用ITRO处理等燃烧化学气相沉积进行表面改良的被装饰体上，提高装饰品制造时的成品率，其中，将作为被装饰体的盖部件(103)当作工件，移动台(30)使工件沿滑块(34a)移动；燃烧器(21)安装于移动台(30)的上方，并使加入有改良剂化合物的火焰接触于在燃烧器下方移动的工件；吸气部(40)在移动台(30)的下方具有中空基座(32)的开口部(32a)，并通过鼓风机(41)向燃烧器(21)及移动台(30)的下方进行吸气。 | ||
| 搜索关键词： | 燃烧 化学 沉积 装置 装饰品 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种燃烧化学气相沉积装置，其特征在于，包括：移动台，将被装饰体及装饰片的至少其中之一作为工件，使所述工件沿移动路径移动；燃烧器，安装于所述移动台的上方，朝在其下方移动的所述工件形成加入有改良剂化合物的火焰；以及第一吸气路径，在所述移动台的下方具有下部吸气口，并在所述移动路径中向所述燃烧器及所述移动台的下方吸气。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
