[发明专利]一种红外反射法测硅基图形片表面苯并三唑浓度的方法

摘要

本发明公开了一种红外反射法测硅基图形片表面苯并三唑（BTA）的方法。本发明按照下述步骤进行：将干燥后的苯并三唑分别配制成0.1mol/L-0.15mol/L、0.15mol/L-0.2mol/L、0.2mol/L-0.25mol/L、0.25mol/L-0.3mol/L、0.3mol/L-0.35mol/L的BTA；上述配制好的BTA按照五点法的位置滴加到十二吋的硅基图形片上，使用红外反射法测量其浓度；使用TQAnalyst（红外定量分析）建立模型曲线，保存为定量分析标准，检测其它样品的苯并三唑（BTA）溶液浓度时，首先进行检测生成谱图，然后调取上述步骤d的定量分析标准，进行定量分析。本发明方法解决了在十二吋晶圆样品台上进行苯并三唑（BTA）浓度测量的问题，其他方法均不能满足在十二吋晶圆上对BTA的无损测量。

主权项

一种红外反射法测硅基图形片表面苯并三唑浓度的方法，其特征是，按照下述步骤进行：将苯并三唑置于真空或鼓风烘箱中干燥，使用无水乙醇作为溶剂将干燥后的苯并三唑分别配制成0.1mol/L‑0.15mol/L、0.15mol/L‑0.2mol/L、0.2mol/L‑0.25mol/L、0.25mol/L ‑0.3mol/L、0.3mol/L‑0.35mol/L的BTA；使用微量进样器分别取50μl相同体积的上述配制好的BTA按照“上下左右中”五点法的位置滴加到十二吋的硅基图形片上；将上述十二吋的硅基图形片静置半小时，然后将硅基图形片置于MAP300 十二吋晶圆样品台上测试，使用红外反射法测量其浓度；使用红外定量分析建立模型曲线，保存为定量分析标准，其中，所选用建模方法为工作曲线法，具体实施方法为：测量出各个浓度的标准样品的溶液的谱图，以其吸光度值作为纵坐标，再以浓度为横坐标，做出相应的工作曲线；（5）检测其它样品的苯并三唑浓度时，首先进行检测生成谱图，然后调取上述步骤（4）的定量分析标准，进行定量分析。