[发明专利]一种用于溶胶凝胶法提拉制膜的衬底清洗方法无效
| 申请号： | 201210308309.8 | 申请日： | 2012-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN102825027A | 公开（公告）日： | 2012-12-19 |
| 发明（设计）人： | 赵小如;关蒙萌;史小龙;孙慧楠 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/12 |
| 代理公司： | 西北工业大学专利中心 61204 | 代理人： | 王鲜凯 |
| 地址： | 710072 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于溶胶凝胶法提拉制膜的衬底清洗方法，其特征在于步骤如下：在室温下，将衬底用洗洁精溶液浸泡、用去离子水浸泡、采用V水：V盐酸=n：1的稀盐酸溶液浸泡、采用丙酮浸泡以及酒精浸泡，再配合超声清洗7-15分钟，溶解吸附丙酮后倒掉溶剂。本发明提出的一种用于溶胶凝胶法提拉制膜的衬底清洗方法，针对衬底可能吸附的各种杂质，采用不同的溶剂清洗，从而对衬底进行彻底的清洗。本发明考虑了衬底可能吸附的各种杂质，针对每种杂质采用不同的溶剂从而可以彻底洗净衬底，从而保证随后沉积过程顺利进行。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 溶胶 凝胶 拉制 衬底 清洗 方法 | ||
【主权项】：
一种用于溶胶凝胶法提拉制膜的衬底清洗方法，其特征在于步骤如下：步骤1：在室温下，将衬底用洗洁精溶液浸泡0.5‑1小时，再配合超声清洗7‑15分钟，去除衬底上附着油污后倒掉溶剂；步骤2：将上一步衬底采用去离子水冲洗两遍去除泡沫后再用去离子水浸泡0.5‑1小时，再配合超声清洗7‑15分钟，去除衬底上的吸附离子后倒掉溶剂；步骤3：将衬底采用V水：V盐酸=n：1的稀盐酸溶液浸泡0.5‑1小时，再配合超声清洗7‑15分钟，溶解并去除某些难溶杂质后倒掉溶剂；所述10>n>4；步骤4：将衬底采用丙酮浸泡0.5‑1小时，再配合超声清洗7‑15分钟，溶解并吸附的有机物后倒掉溶剂；步骤5：将衬底用酒精浸泡0.5‑1小时，再配合超声清洗7‑15分钟，溶解吸附丙酮后倒掉溶剂。
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