[发明专利]具有可调势垒的石墨烯开关装置在审
申请号: | 201210305411.2 | 申请日: | 2012-08-24 |
公开(公告)号: | CN102956694A | 公开(公告)日: | 2013-03-06 |
发明(设计)人: | 许镇盛;郑现钟;宋俔在;朴晟准;D.塞奥;梁喜准 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | H01L29/43 | 分类号: | H01L29/43;H03K17/56 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 张波 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 根据示例实施方式,一种石墨烯开关装置具有可调势垒。该石墨烯开关装置可包括:栅基板;在栅基板上的栅介电层;在栅介电层上的石墨烯层;半导体层和第一电极,顺序堆叠在石墨烯层的第一区上;第二电极,在石墨烯层的第二区上。半导体层可用n型杂质和p型杂质的其中之一掺杂。半导体层可以面对栅基板,石墨烯层位于半导体层与栅基板之间。石墨烯层的第二区可以与石墨烯层的第一区分离。 | ||
搜索关键词: | 具有 可调 石墨 开关 装置 | ||
【主权项】:
一种具有可调势垒的石墨烯开关装置,该石墨烯开关装置包括:栅基板;在所述栅基板上的栅介电层;在所述栅介电层上的石墨烯层;半导体层和第一电极,顺序堆叠在所述石墨烯层的第一区上,所述半导体层掺杂有n型杂质和p型杂质的其中之一,以及所述半导体层面对所述栅基板,所述石墨烯层位于所述半导体层与所述栅基板之间;以及第二电极,在所述石墨烯层上的第二区上,该第二区与所述石墨烯层的所述第一区分离。
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