[发明专利]一种单晶硅生产用石墨加热器的低成本加工方法有效
| 申请号： | 201210303725.9 | 申请日： | 2012-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN102828241A | 公开（公告）日： | 2012-12-19 |
| 发明（设计）人： | 范成庆;陈岩;薛伟;苗学明;黄宝亮 | 申请（专利权）人： | 山东伟基炭科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B35/00 |
| 代理公司： | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人： | 苗峻 |
| 地址： | 250101 山东省济南市高新区*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单晶硅生产用石墨加热器的低成本加工方法，属于单晶硅生产设备加工技术领域。本发明是利用一块柱状石墨坯料同时加工两种规格的加热器，其中，第一加热器的直径大于第二加热器的直径，其加工步骤是：（一）将石墨坯料的一端同轴精车出第一加热器的外径和第二加热器的内径；（二）加工第二加热器的外径，使第一加热器和第二加热器的容器壁分离；（三）在石墨坯料的另一端面内两个加热器的电极腿错位设置，利用数控机床将第一加热器和第二加热器的电极腿分别加工出来，然后将第一加热器的电极腿底部与第二加热器分离开；（四）分别对第一加热器和第二加热器进行精加工。本发明可以大大提高材料的利用率，减少材料的损耗及浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 生产 石墨 加热器 低成本 加工 方法 | ||
【主权项】：
一种单晶硅生产用石墨加热器的低成本加工方法，所述石墨加热器的底部具有均匀设置的两条或四条电极腿，其特征是：利用一块柱状石墨坯料同时加工两种规格的加热器，其中，第一加热器的直径大于第二加热器的直径，其加工步骤是：（一）将石墨坯料的一端同轴精车出第一加热器的外径和第二加热器的内径；（二）加工第二加热器的外径，使第一加热器和第二加热器的容器壁分离；（三）在石墨坯料的另一端面内两个加热器的电极腿错位设置，利用数控机床将第一加热器和第二加热器的电极腿分别加工出来，然后将第一加热器的电极腿底部与第二加热器分离开；（四）分别对第一加热器和第二加热器进行精加工。
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