[发明专利]硼扩散用炉管的清洗方法有效
| 申请号： | 201210303447.7 | 申请日： | 2012-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN102784775A | 公开（公告）日： | 2012-11-21 |
| 发明（设计）人： | 崔景光;刘旭;寇继成;王海亮 | 申请（专利权）人： | 英利能源（中国）有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/027 | 分类号： | B08B9/027 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 吴贵明;余刚 |
| 地址： | 071051 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硼扩散用炉管的清洗方法。该方法包括以下步骤：1）按体积比75:1~1:1向硼扩散用炉管中通入氮气和携源氮气，持续30分钟以上，其中，携源氮气中携带有纯水蒸气；2）停止通入氮气和携源氮气，完成清洗。应用本发明的技术方案，在不改变炉管结构的情况下，采用纯水蒸气对炉管进行清洗。因为BSG（硼硅玻璃）极易溶于水，因此采用纯水蒸气很容易就可以将炉管清洗干净，清洗过程中产生废物可以随尾气管排出。总之，本发明的技术方案简单实用，不必更改设备结构，就能达到清洗炉管，提高扩散质量，延长石英器件寿命的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 扩散 炉管 清洗 方法 | ||
【主权项】：
一种硼扩散用炉管的清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：1）按体积比75:1~1:1向硼扩散用炉管中通入氮气和携源氮气，持续30分钟以上，其中，所述携源氮气中携带有纯水蒸气；2）停止通入所述氮气和携源氮气，完成清洗。
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