[发明专利]用于制造微机械结构的方法和微机械结构

摘要

本发明提供一种用于制造微机械结构的方法和一种微机械结构。该微机械结构包括由第一材料制成的第一微机械功能层（3），它具有被掩埋的、具有第一端部（E1）和第二端部（E2）的通道（6'）；在第二微机械功能层（11）中的具有封罩（12，13）的微机械传感器结构（S1，S2），该第二微机械功能层设置在第一微机械功能层（3）之上；在第二微机械功能层（11）中的边缘区域（R），该边缘区域（R）包围传感器结构（S1，S2）并且定义包含传感器结构（S1，S2）的内侧（RI）和背离传感器结构（S1，S2）的外侧（RA）；其中，第一端部（E1）位于所述外侧（RA）并且第二端部（E2）位于所述内侧（RI）。

主权项

一种用于制造微机械结构的方法，具有以下步骤：在由第一材料制成的第一微机械功能层(3)中形成通道(6)；用由第二材料制成的覆盖层(7)封闭所述通道(6)，以便形成具有第一端部(E1)和第二端部(E2)的被掩埋的通道(6')；在所述覆盖层(7)上方形成由第三材料制成的第二微机械功能层(11)；在第二微机械功能层(11)中结构化一微机械传感器结构(S1，S2)和一边缘区域(R)，其中，该边缘区域(R)包围所述传感器结构(S1，S2)并且定义包含所述传感器结构(S1，S2)的内侧(RI)和背离所述传感器结构(S1，S2)的外侧(RA)，其中，所述第一端部(E1)位于该外侧(RA)并且所述第二端部(E2)位于该内侧(RI)；在第一蚀刻步骤中在第一和第二端部(E1，E2)上打开所述被掩埋的通道(6')，其中，第一蚀刻介质通过结构化的第二微机械功能层(11)引导到第一和第二端部(E1，E2)上并且对于第一微机械功能层(3)和对于第二微机械功能层(11)选择性地蚀刻覆盖层(7)；在所述边缘区域(R)上形成一罩(12，13)，由此，打开后的被掩埋的通道(6')形成所述外侧(RA)与所述内侧(RI)之间的流体连通；通过打开后的被掩埋的通道(6')在具有被封罩的传感器结构(S1，S2)的内侧(RI)中形成预定的气氛；并且封闭所述第一端部(E1)。