[发明专利]一种盘状物夹持装置无效
| 申请号： | 201210283249.9 | 申请日： | 2012-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN102800619A | 公开（公告）日： | 2012-11-28 |
| 发明（设计）人： | 高浩;张豹 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L21/687 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 韩国胜 |
| 地址： | 100015 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种夹持装置，公开了一种盘状物夹持装置，该夹持装置包括卡盘、所述卡盘盘面上放置盘状物，所述卡盘盘面的周向上设有多个机械式夹持元件，所述卡盘内部设有驱动机构，所述驱动机构与多个所述夹持元件连接，用于驱动夹持元件进行自旋转运动进而夹持或取放盘状物，多个夹持元件所构成的有效夹持面与盘状物的形状相匹配。本发明采用驱动机构驱动夹持元件进行自旋转并对盘状物进行夹持和取放，该结构简单，在夹持盘状物的过程中不会对盘状物产生污染；进一步地，夹持头与卡盘盘面的夹角小于90°的一侧，用于夹持盘状物，避免在夹持过程中盘状物掉落而受到损坏，其与卡盘盘面的夹角大于或等于90°的另一侧，用于取放盘状物。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 盘状物 夹持 装置 | ||
【主权项】：
一种盘状物夹持装置，其特征在于，包括卡盘，所述卡盘盘面上放置盘状物，所述卡盘盘面的周向上设有多个机械式夹持元件，所述卡盘内部设有驱动机构，所述驱动机构与多个所述夹持元件连接，用于驱动所述夹持元件进行自旋转运动进而夹持或取放盘状物，多个所述夹持元件所构成的有效夹持面与盘状物的形状相匹配。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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