[发明专利]声波滤波器无效
| 申请号： | 201210273497.5 | 申请日： | 2012-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN102916674A | 公开（公告）日： | 2013-02-06 |
| 发明（设计）人： | 西原时弘;谷口真司;上田政则 | 申请（专利权）人： | 太阳诱电株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/64 | 分类号： | H03H9/64 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;王伶 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供了一种声波滤波器。一种包括多个压电薄膜谐振器的声波滤波器，其中至少两个所述压电薄膜谐振器包括：基板；位于所述基板上的压电膜；隔着至少一部分所述压电膜设置的下电极和上电极；用于频率控制的质量负荷膜，其位于下电极与上电极彼此面对的谐振区内，并且具有与谐振区的形状不同的形状；以及温度补偿膜，其弹性常数的温度系数具有与压电膜的弹性常数的温度系数的符号相反的符号，至少一部分所述温度补偿膜在谐振区中位于下电极与上电极之间，并且所述至少两个所述压电薄膜谐振器的质量负荷膜的面积彼此不同。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 滤波器 | ||
【主权项】：
一种声波滤波器，该声波滤波器包括多个压电薄膜谐振器，其中至少两个所述压电薄膜谐振器包括：基板；位于所述基板上的压电膜；下电极和上电极，该下电极和该上电极隔着至少一部分所述压电膜设置；用于频率控制的质量负荷膜，该质量负荷膜位于所述下电极与所述上电极彼此面对的谐振区内，并且具有与所述谐振区的形状不同的形状；以及温度补偿膜，该温度补偿膜的弹性常数的温度系数具有与所述压电膜的弹性常数的温度系数的符号相反的符号，至少一部分所述温度补偿膜在所述谐振区中位于所述下电极与所述上电极之间，并且所述至少两个所述压电薄膜谐振器的质量负荷膜的面积彼此不同。
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