[发明专利]电容式传感器及其制造方法和操作方法在审
| 申请号： | 201210269364.0 | 申请日： | 2012-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN102956810A | 公开（公告）日： | 2013-03-06 |
| 发明（设计）人： | 金载兴 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/083 | 分类号： | H01L41/083;H01L41/27 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 张波 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供一种电容式传感器及其制造方法和操作方法。该电容式传感器包括：第一掺杂区；第二掺杂区，具有与第一掺杂区相反的导电性并包括第一振动部分；以及空置空间，设置在第一掺杂区与第一振动部分之间，其中第一和第二掺杂区是整体的。该振动部分包括多个通孔，并且用于密封多个通孔的材料膜设置在振动部分上。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 传感器 及其 制造 方法 操作方法 | ||
【主权项】：
一种传感器，包括：第一掺杂区；第二掺杂区，具有与所述第一掺杂区相反的导电性并包括第一振动部分；以及空置空间，设置在所述第一掺杂区与所述第一振动部分之间，其中所述第一掺杂区和所述第二掺杂区是整体的。
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