[发明专利]一种深紫外光刻照明系统中的相干因子调整系统

摘要

一种深紫外光刻照明系统中的相干因子调整系统，包括：聚光镜组，位于照明系统的照明光路上，负责将光会聚到指定位置；匀光棒，位于系统所述聚光镜组的光路上，聚光镜组会聚的光经由匀光棒的入射端入射并经由出射端出射；控制装置，用来固定多根不同口径比的匀光棒，装置有平行于照明系统光轴的旋转轴，装置绕此轴旋转调整匀光棒的位置，使指定的匀光棒置于照明系统光路中参与调节照明系统的相干因子；所述控制装置由高精度旋转台驱动；中继透镜位于所述匀光棒的出射光路上；照明场，位于所述中继透镜的出光光路上。本发明能用简单的方法调节系统的相干因子，或者简化变焦透镜的设计复杂度，达到简化结构降低成本的目的。

主权项

一种深紫外光刻照明系统中的相干因子调整系统，其特征在于包括：聚光镜组，位于深紫外光刻照明系统的照明光路上，将经扩束整形得到的平行光会聚到匀光棒入射端口附近；匀光棒，位于所述聚光镜组后的光路上，聚光镜组出射的光经由匀光棒的入射端入射，并由其出射端出射；所述匀光棒有多根，所有匀光棒的出射端口径相同，入射端口径不同；控制装置，被固定在深紫外光刻照明系统的机械外壳上，用来固定所述多根匀光棒，控制装置有平行于照明系统光轴的旋转轴，控制装置绕此轴旋转即可调整每根匀光棒的位置，使指定的匀光棒置于照明系统光路中参与调节照明系统的相干因子；中继透镜，位于所述控制装置的出光光路上；照明场，位于所述中继透镜后的系统光路上。