[发明专利]哈特曼波前探测器与入射光束的孔径对准方法有效
申请号: | 201210264033.8 | 申请日: | 2012-07-27 |
公开(公告)号: | CN102829882A | 公开(公告)日: | 2012-12-19 |
发明(设计)人: | 宣丽;穆全全;曹召良;胡立发;彭增辉;李大禹;刘永刚;夏明亮;姚丽双;杨程亮;鲁兴海 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G01J9/00 | 分类号: | G01J9/00;G02B27/30 |
代理公司: | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人: | 南小平 |
地址: | 130033 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本发明是哈特曼波前探测器与入射光束的孔径对准方法。其特征如图所示,传统的哈特曼波前探测器由微透镜阵列1、第一透镜2、第二透镜3、光电探测器4组成,其中第一透镜2、第二透镜3构成哈特曼波前探测器的转接镜头;本发明在哈特曼波前探测器的转接镜头上设计能插入、拔出的凹透镜5,当进行哈特曼波前探测器与入射光束孔径对准时,将凹透镜5插入到转接镜头中的光路上,从而使光电探测器4上的光点阵列像切换为微透镜阵列1的实物像,实现可视化地调节微透镜阵列1的位置,使入射光束孔径与哈特曼波前探测器孔径对准。孔径对准完成后将凹透镜5移出光路,恢复为传统配置的哈特曼波前探测器,可以进行波前探测。 | ||
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【主权项】:
哈特曼波前探测器与入射光束的孔径对准方法,其特征是在哈特曼波前探测器的转接镜头上设计能插入、拔出一个凹透镜的结构,以在进行哈特曼波前探测器与入射光束孔径对准时,将凹透镜插入到转接镜头中的光路上,从而使哈特曼的光电探测器上的光点阵列像切换为微透镜阵列的实物像,实现可视化地调节微透镜阵列的位置,使入射光束孔径与哈特曼波前探测器孔径对准,然后将凹透镜移出光路即可。
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