[发明专利]硅微陀螺芯片探针卡有效
| 申请号： | 201210263955.7 | 申请日： | 2012-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN103575294A | 公开（公告）日： | 2014-02-12 |
| 发明（设计）人： | 肖鹏;王刚;王小斌 | 申请（专利权）人： | 中国航空工业第六一八研究所 |
| 主分类号： | G01C25/00 | 分类号： | G01C25/00 |
| 代理公司： | 中国航空专利中心 11008 | 代理人： | 杜永保 |
| 地址： | 710065 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅微陀螺芯片探针卡。本发明包括底座、上盖、弹性夹持机构和若干探针；所述弹性夹持机构为带有芯片定位和弹性夹持功能的装卡机构，并固定于底座的中间部位；所述上盖的中间为孔，孔的位置与大小与弹性夹持机构的位置与大小相配合；所述探针为可以在高度、弧向、径向三个自由度调节的接触式探针；探针安装在上盖上，以辐射状排列，探针针头集中于所测试芯片电极位置附近；底座和上盖通过铰链连接；底座上有若干限位柱，上盖有若干与限位柱相配合的限位孔。使用本发明，在对被测芯片完成初次探针位置调节后，其结构使探针定位保持精确，此后无需借助显微镜就可实现同类芯片的多次和重复测试，可极大的提高批生产检测的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 陀螺 芯片 探针 | ||
【主权项】：
硅微陀螺芯片探针卡，其特征为：所述探针卡包括底座（1）、上盖（4）、弹性夹持机构（2）和若干探针（6）；所述弹性夹持机构（2）为带有芯片定位和弹性夹持功能的装卡机构，并固定于底座（1）的中间部位；所述上盖（4）的中间为孔，孔的位置与大小与弹性夹持机构的位置与大小相配合；所述探针（6）为可以在高度、弧向、径向三个自由度调节的接触式探针；探针（6）安装在上盖（4）上，以辐射状排列，探针针头集中于所测试芯片电极位置附近；底座（1）和上盖（4）通过铰链（8）连接；底座（1）上有若干限位柱（3），上盖（4）有若干与限位柱（3）相配合的限位孔（7）。
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