[发明专利]一种传感器及其制造方法

摘要

本发明公开了一种传感器及其制造方法，所述传感器包括：包括：衬底基板、呈交叉排列的一组栅线和一组数据线、由所述一组栅线和一组数据线所界定的多个呈阵列状排布的感测单元，每个感测单元包括薄膜晶体管器件和光电二极管传感器件，其中，所述薄膜晶体管器件为底栅型；所述光电二极管传感器件包括：与漏极连接的接收电极、位于接收电极之上并覆盖所述薄膜晶体管器件的光电二极管、位于光电二极管之上的透明电极，以及与透明电极连接的偏压线。与传统的传感器相比，光电二极管和透明电极的覆盖面积增大，传感器的整体光接收面积增大，对光的吸收利用率提高，成像品质得到提升，并且能耗也有所降低。

主权项

一种传感器，其特征在于，包括：衬底基板、呈交叉排列的一组栅线和一组数据线、由所述一组栅线和一组数据线所界定的多个呈阵列状排布的感测单元，每个感测单元包括薄膜晶体管器件和光电二极管传感器件，其中，所述薄膜晶体管器件包括：位于衬底基板之上并与相邻的栅线连接的栅极；位于栅极之上的栅极绝缘层；位于栅极绝缘层之上的有源层；位于有源层之上的欧姆层；位于欧姆层之上并相对而置形成沟道的源极和漏极，所述源极与相邻的数据线连接；以及位于源极、漏极和沟道之上的阻挡层；所述光电二极管传感器件包括：与漏极连接的接收电极、位于接收电极之上并覆盖所述薄膜晶体管器件的光电二极管、位于光电二极管之上的透明电极，以及与透明电极连接的偏压线。