[发明专利]薄膜成品率预测系统及方法有效
| 申请号： | 201210260972.5 | 申请日： | 2012-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN102901734A | 公开（公告）日： | 2013-01-30 |
| 发明（设计）人： | 洪昇均;朴宰贤;尹永根 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 韩国全罗*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供一种薄膜成品率预测系统以及方法，其用于对在制造光学薄膜时产生的缺陷进行检测以算出产品的预期成品率。本发明涉及的成品率预测系统包含：第一检查部，其在光学薄膜的制造工序中，对执行特定步骤中的光学薄膜上的缺陷进行检测，生成包含检测出的缺陷的位置的第一缺陷数据；第二检查部，其对执行区别于所述特定步骤的所述制造工序的其它步骤中的所述光学薄膜上的缺陷进行检测，生成包含检测出的缺陷的位置的第二缺陷数据；数据合并部，其合并所述第一缺陷数据和所述第二缺陷数据；以及成品率预测部，其根据由所述数据合并部合并得到的缺陷数据，算出基于所述光学薄膜的预期切削位置和切削尺寸的所述光学薄膜的预期成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 成品率 预测 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种光学薄膜成品率预测系统，具备：第一检查部，其在光学薄膜的制造工序中，对执行特定步骤中的光学薄膜上的缺陷进行检测，生成包含检测出的缺陷的位置的第一缺陷数据；第二检查部，其对执行区别于所述特定步骤的所述制造工序的其它步骤中的所述光学薄膜上的缺陷进行检测，生成包含检测出的缺陷的位置的第二缺陷数据；数据合并部，其合并所述第一缺陷数据和所述第二缺陷数据；以及成品率预测部，其根据由所述数据合并部合并得到的缺陷数据，算出基于所述光学薄膜的预期切削位置和切削尺寸的所述光学薄膜的预期成品率。
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